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    THU600纳米压印机
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    THU600纳米压印机

    产品详情 


          THU600纳米压印机是一款气压驱动的多功能型纳米压印机,具备热压印和紫外压印功能,最大支持6英寸模板压印。

          PDMS、SFP? & Hybrid Mold?软模板压印技术的加入,可以最大程度消除灰尘给压印结果带来的缺陷,并且支持曲面压印。目前THU400纳米压印机广泛应用于图形化蓝宝石衬底、太阳能电池、光波导器件、生物芯片等诸多领域。


    技术参数


    基底尺寸            最多6英寸圆形,不规则形状和尺寸兼容

    压印区域            与基底相同

    模板尺寸            最多6 "圈

    真空                  - 95千帕

    重量                  200公斤

    热压印/压花     

    压印压力           高达8bar

    加热温度           高达250℃

    加热方式           电阻加热  

    紫外线压印(可选)

    紫外线源          高压汞灯

    紫外线灯功率    400瓦

    压印压力          最高6bar

    安装要求

    过滤压力源       8bar

    电力                110 / 220伏、50 / 60赫兹、3.0千瓦或更高

    洁净室级          1000或更高

    
    
    


    产品外观


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