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    Tergeo-EM
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    PIE等离子清洗仪 Tergeo

    产品详情


    Tergeo-EM是一台集等离子清洗,蚀刻及表面处理系统于一体的实验仪器。


    技术规格


    1.集等离子高速清洗和等离子无损清洗于一体的清洗模式。

    2.配置等离子传感器可实时测量等离子强度。

    3.可达毫秒级短脉冲的脉冲工作模式。

    4.实验室等离子蚀刻,处理及清洁系统一体化。

    5.拥有超大样品室可成批处理样品。石英管型号:外径 110mm, 长:280mm,配有一个矩形石英样品盘(100mmx250mm)可以托住成批样品。

    6.双 TEM 样品杆插口,可(根据客户需求)装配成两种不同型号 TEM 样品杆插口。


    产品外观



    应用实例


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