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    镀膜仪
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    镀膜仪

    Product Details


    CCU-010 LV (low vacuum) coating unit

    Consisting of:
    lightweight Aluminum base
    vacuum flange (DN 25 ISO-KF) to connect an external roughing pump
    power socket and cable to control the external roughing pump
    Pirani vacuum gauge
    automatic valve control for two process gases and venting
    6mm plug connections for two process gases and vent gas
    glass process chamber (DN 100 ISO-KF compatible) with a scale indicating the working distance
    implosion guard with safety monitoring
    specimen table, tilt and height adjustable
    specimen plate Ø 80mm for SEM pin stubs
    quartz crystal film thickness monitor, usable in two positions (center/edge)

    power supply (100 … 240VAC, 50/60Hz)

    process head interface (gas and electric) including automatic detection

    5.7“ TFT touch display
    an easy creation of the coating recipes which guarantee reproducible results
    storage / view of the last ten processes
    Automatic vent of the system with power failure.This prevents dirtying the arrangement by the oil of the backing pump. The battery-buffered vent valve

    closes after venting to avoid extensive loss of venting gas.

    intuitive operator's software with many practical features
    graphic representation of process data with Windows based software Coating LAB (option)
    external alarm connector
    USB service interface for easy analysis and software upgrades
    various accessories, tools and assembly material included in delivery

    operating manual


    Product appearance


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